2024-10-23 20:10:57
大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于自动化设备清洗硅片的问题,于是小编就整理了3个相关介绍自动化设备清洗硅片的解答,让我们一起看看吧。
清洗硅片的一般工艺程序为:去分子→去离子→去原子→去离子水冲洗。
另外,为去除硅片表面的氧化层,常要增加一个稀氢氟酸浸泡步骤。
化学清洗化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗(硫酸、硝酸、王水、各种混合酸等)和等离子体法等。其中双氧水体系清洗方法效果好,环境污染小。
硅片清洗的典型工艺过程如下:
预清洗:将硅片浸泡在去离子水中,以去除表面附着的粉尘和杂质。
清洗1:使用酸性溶液(如HCl、HF)或碱性溶液(如NH4OH、NaOH)进行化学清洗,以去除硅片表面的有机和无机残留物。
清洗2:使用去离子水进行二次清洗,以去除化学清洗过程中留下的残留物。
气体吹干:使用氮气等惰性气体将硅片表面的水分和残留物吹干。
热处理:将硅片加热至高温(通常在1000℃以上),以去除表面残留物并增加晶体质量。
整个清洗过程需要在洁净室或类似环境下进行,确保硅片不会再次受到污染。
清洗硅片的一般工艺程序为:去分子→去离子→去原子→去离子水冲洗。
另外,为去除硅片表面的氧化层,常要增加一个稀氢氟酸浸泡步骤。
化学清洗化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗(硫酸、硝酸、王水、各种混合酸等)和等离子体法等。其中双氧水体系清洗方法效果好,环境污染小。
是:清洗前将硅片置于去离子水中浸泡,去除表面的有机污染物和颗粒物;然后将硅片浸泡于氢氟酸溶液中,在恰当的条件下,蚀刻硅片的表面,去除氧化层以及未去除的污染物;最后再次用去离子水及有机溶剂清洗一遍,以去除残留物质,保证表面的洁净度。
这个工艺过程的目的是为了去除硅片表面残留的污染物和氧化层,使硅片表面达到最佳的洁净度和平滑度,以便在后续的工艺中能够获得更优良的器件性能。
这个一般的光伏板是由一层保护层(一般是有机玻璃,次一点的是玻璃),一层硅片(发电设备),一层背板(把硅片黏在背板,起支撑作用),有的还可能在背板再加一层保护层,你所谓的清洗如果是表面的话最简单的是水洗,如果要求较高,想保证光伏板的透光性,就需要在一些清洗剂了,网上多的是(就不具体说了,免有做广告的嫌疑),如果清洗硅片的话这个还真没见过,不清楚
硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。
近年来光伏发电和半导体行业的迅速发展对硅片的加工提出了更高的要求:一方面为了降低制造成本,硅片趋向大直径化。另一方面要求硅片有极高的平面度精度和极小的表面粗糙度。所有这些要求极大的提高了硅片的加工难度,由于硅材料具有脆、硬等特点,直径增大造成加工中的翘曲变形,加工精度不易保证。厚度增大、芯片厚度减薄造成了材料磨削量大、效率下降等。
硅片切片作为硅片加工工艺流程的关键工序,其加工效率和加工质量直接关系到整个硅片生产的全局。对于切片工艺技术的原则要求是:
①切割精度高、表面平行度高、翘曲度和厚度公差小。
②断面完整性好,消除拉丝、刀痕和微裂纹。
③提高成品率,缩小刀(钢丝)切缝,降低原材料损耗。
④提高切割速度,实现自动化切割。
到此,以上就是小编对于自动化设备清洗硅片的问题就介绍到这了,希望介绍关于自动化设备清洗硅片的3点解答对大家有用。
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